GRM4201 Gran bomba de vacío seco de raíces de múltiples etapas 4200 m3/h libre de aceite para transferencia de carga-bloqueo

La GRM4201 es una bomba de vacío seco de raíces de múltiples etapas a gran escala diseñada específicamente para cámaras Load-Lock, cámaras de transferencia y aplicaciones de bombeo rápido. Con una velocidad de bombeo de 4200 m³/h y una configuración de motor dual de 13+10 kW, satisface las demandas de la fabricación de células solares de heterounión y de las gigafábricas de baterías de litio, donde los ciclos rápidos y la integridad del alto vacío son fundamentales.

• Capacidad ultraalta:4200 m³/h para ciclos rápidos de bombeo Load-Lock
• Raíces multietapa + potenciador:Alto vacío con amplio rango de presión de trabajo
• Potente motor dual:Motores síncronos de imanes permanentes de 13+10 kW.
• Diseño de rotor único:Optimizado para un bajo consumo de energía con alta eficiencia
• Aspiradora limpia sin aceite:Sin contaminación por aceite: ideal para semiconductores y energía solar
• Fabricación de precisión:Rotores mecanizados por CNC avanzados con total intercambiabilidad
• Soporte de rodamiento de doble extremo:Soporte de rotor ultrafiable con mínima vibración
• Confiabilidad inicial superior:Diseñado para ciclos de procesos exigentes
• Sellado avanzado:Sello de labio + barrera de aceite laberíntica + purga de nitrógeno: verdaderamente libre de aceite
• Motor sellado refrigerado por agua:Elimina el riesgo de fugas de aceite y prolonga la vida útil.
• Control inteligente:Arranque/parada con un solo toque con E/S y RS485 (Modbus-RTU)

• Fabricación de semiconductores: cámaras Load-Lock, módulos de transferencia, interfaces de proceso
• Célula solar de heterounión (HJT): vacío PECVD, bombeo rápido
• Gigafábricas de baterías de litio: secado de células de gran volumen y procesamiento al vacío
• Recubrimiento al vacío: Load-Lock para transferencia de sustrato mientras se mantiene el vacío de la cámara