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GRM602 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 600 m3/h Bomba de vacío de capacidad media libre de aceite para procesos de semiconductores
GRM602 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 600 m3/h Bomba de vacío de capacidad media libre de aceite para procesos de semiconductores
  • GRM602 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 600 m3/h Bomba de vacío de capacidad media libre de aceite para procesos de semiconductores

GRM602 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 600 m3/h Bomba de vacío de capacidad media libre de aceite para procesos de semiconductores

Detalles del producto:
Lugar de origen: Porcelana
Nombre de la marca: Baosi
Certificación: CE
Número de modelo: GRM601
Información detallada
Lugar de origen:
Porcelana
Nombre de la marca:
Baosi
Certificación:
CE
Número de modelo:
GRM601
Velocidad de bombeo:
³ /h de 600 m
Presión máxima:
≤0,15 Pa
Potencia del motor:
1,9+1,9 kilovatios
Voltaje:
380V/trifásico
Entrada:
ISO100
Salida:
KF25
Ruido:
≤63dB(A)
Peso:
260 kg
Dimensiones:
865×344×751 milímetros
Agua de refrigeración:
0,1-0,6 MPa, ≥4 l/min
Purga de N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 l/min
Resaltar:

High Light

Resaltar:

Bomba de vacío seca sin aceite GRM602

,

bomba de vacío de raíces de varias etapas

,

Bomba de vacío de proceso de semiconductores

Información Comercial
Cantidad de orden mínima:
1 juego
Precio:
negotiable
Detalles de empaquetado:
Embalaje de caja de madera estándar de exportación
Tiempo de entrega:
15-30 días laborables
Condiciones de pago:
T/T
Capacidad de la fuente:
50 juegos/mes
Descripción del producto

Bomba de vacío seco de raíces multietapa GRM602: solución de capacidad media de 600 m³/h

La GRM601 es una bomba de vacío seco de raíces multietapa de capacidad media que ofrece una velocidad de bombeo de 600 m³/h con una impresionante presión máxima de ≤0,15 Pa. Sus motores duales síncronos de imán permanente de 1,9+1,9 kW proporcionan un vacío confiable sin aceite para aplicaciones de semiconductores, fotovoltaicas y baterías de litio.

Características clave

  • Diseño de raíces de varias etapas:Alta velocidad de bombeo con bajo consumo de energía.
  • Configuración de motor dual:1,9+1,9 kW para un funcionamiento equilibrado y eficiente
  • Presión máxima ultrabaja:≤0,15 Pa para requisitos de proceso exigentes
  • Ultrasilencioso:≤63 dB(A): ideal para entornos de salas blancas
  • Mecanismo sin aceite:Contaminación cero por aceite para procesos sensibles
  • Manejo superior de partículas:Estructura de rotor avanzada para procesos polvorientos
  • Integración compacta:865*344*751mm, 260kg
  • Insensible al polvo y al vapor:Fiable con subproductos del proceso y humedad.
  • Sellado avanzado:Sello de labio + laberinto + protección de purga de nitrógeno
  • Inteligencia Remota:E/S y RS485 (Modbus) para automatización de fábricas

Especificaciones técnicas

Modelo GRM602
Velocidad de bombeo 600 m³/h
Presión máxima (sin purga) ≤0,15Pa
Potencia del motor 1,9 + 1,9 kilovatios
Voltaje 380 V (trifásico)
Conexión de entrada ISO100
Conexión de salida KF25
Nivel de ruido ≤63dB(A)
Peso 260 kilogramos
Dimensiones (largo*ancho*alto) 865*344*751 milímetros
Presión del agua de refrigeración 0,1–0,6 MPa
Flujo de agua de refrigeración ≥4 L/min
Presión de purga de N₂ 0,2–0,6 MPa
Flujo de purga de N₂ 12-50 l/min
Temperatura de funcionamiento 5–40°C; ≤90% de humedad relativa

Aplicaciones

  • Semiconductor: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Grabado de metal, Grabado de silicio
  • Fotovoltaica: crecimiento de cristales, fabricación de células solares.
  • Batería de Litio: Secado de celdas, llenado de electrolitos, desgasificación.
  • Pantalla plana: procesos de fabricación de LED y LCD

Etiquetas:

bomba de vacío turbo,

Bomba de vacío alto,

Bomba de vacío seca sin aceite GRM602

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