Bomba de vacío seca refrigerada por agua 200 m³/h, ≤0.5 Pa, 1.9 kW, GRM201

El Baosirefrigerados por aguaLa bomba de vacío seco GRM201,200 m3/h, ≤ 0,5 Pa,1.9kw

Especificaciones

• Bajo consumo de energía,
• velocidad de bombeo alta,
• Gran capacidad de eliminación de polvo,
• Capacidad para transportar gases de proceso fácilmente condensables.

La velocidad de bombeo estable lo hace adecuado para procesos con grandes volúmenes de gases de escape, ofreciendo una alta fiabilidad y bajos costes de operación y mantenimiento.y procesos exigentes como el PECVD, MOCVD y SiC-CVD en industrias como la fotovoltaica y los semiconductores.
 

Características del producto

• Utiliza un motor síncrono de imán permanente para un menor consumo de energía.
• La estructura avanzada del rotor mejora la capacidad de eliminación de polvo de la bomba.
• Insensibles al polvo y al vapor de agua en el gas bombeado;
• Estructura compacta, pequeño tamaño general y alta eficiencia del sistema.
• Funciones de protección integrales y una gran capacidad de adaptación;
• Baja vibración y ruido durante el funcionamiento; un sistema avanzado de sellado de labios y de sellado de laberinto, combinado con purga de nitrógeno, garantiza eficazmente una cámara de bomba libre de aceite,mejora de la limpieza del vacío de la cámara de proceso.
• Las funciones de control y monitorización a distancia son posibles a través de la interfaz de E/S y la interfaz RS-485 (protocolo Modbus).

Parámetro técnico

Curva de bombeo

Dibujo

Aplicaciones:

Es adecuado para procesos limpios, moderados y exigentes como PECVD, MOCVD y SiC-CVD en industrias como la fotovoltaica y los semiconductores.