Bomba de vacío seco BAOSI refrigerada por agua GRM601,600m3/h, ≤0,15Pa, 1,9+1,9kW

Características:

• Bajo consumo de energía,
• velocidad de bombeo alta,
• Gran capacidad de eliminación de polvo,
• Capacidad para transportar gases de proceso fácilmente condensables.
• La velocidad de bombeo estable lo hace adecuado para procesos con grandes volúmenes de gases de escape, ofreciendo una alta fiabilidad y bajos costos de operación y mantenimiento.

• Utiliza un motor síncrono de imán permanente para un menor consumo de energía.
• La estructura avanzada del rotor mejora la capacidad de eliminación de polvo de la bomba.
• Insensibles al polvo y al vapor de agua en el gas bombeado;
• Estructura compacta, pequeño tamaño general y alta eficiencia del sistema.
• Funciones de protección integrales y una gran capacidad de adaptación;
• Baja vibración y ruido durante el funcionamiento; un sistema avanzado de sellado de labios y de sellado de laberinto, combinado con purga de nitrógeno, garantiza eficazmente una cámara de bomba libre de aceite,mejora de la limpieza del vacío de la cámara de proceso.
• Las funciones de control y monitorización a distancia son posibles a través de la interfaz de E/S y la interfaz RS-485 (protocolo Modbus).

Parámetro técnico

Curva de bombeo

Dibujo dimensional en línea

Aplicación:

• En la industria de los semiconductores, los procesos limpios, moderados y duros incluyen el grabado, la implantación de iones y el CVD.
• En la industria fotovoltaica, tenga cuidado con los hornos de crecimiento y los procesos de fabricación de células.
• En la industria de las baterías de iones de litio, son cruciales procesos como el secado al vacío, el llenado de electrolitos y la desgasificación de las celdas de las baterías.