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GRM1201 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 1200 m3/h sin aceite para semiconductores PECVD MOCVD

GRM1201 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 1200 m3/h sin aceite para semiconductores PECVD MOCVD

Detalles del producto:
Lugar de origen: Porcelana
Nombre de la marca: Baosi
Certificación: CE
Número de modelo: GRM1201
Información detallada
Lugar de origen:
Porcelana
Nombre de la marca:
Baosi
Certificación:
CE
Número de modelo:
GRM1201
Velocidad de bombeo:
1200 m3/h
Presión máxima:
≤0,15 Pa
Potencia del motor:
1,9+1,9 kilovatios
Voltaje:
380V/trifásico
Entrada:
ISO160
Salida:
KF25
Ruido:
≤63dB(A)
Peso:
260 kg
Dimensiones:
865×344×751 milímetros
Agua de refrigeración:
0,1-0,6 MPa, ≥4 l/min
Purga de N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 l/min
Resaltar:

High Light

Resaltar:

bomba de vacío de raíces de alta velocidad

,

Bomba de vacío seca de 1200 m3h

,

PECVD vacío de proceso MOCVD

Información Comercial
Cantidad de orden mínima:
1 juego
Precio:
USD 8500-12500/Set
Detalles de empaquetado:
Embalaje de caja de madera estándar de exportación
Tiempo de entrega:
15-30 días laborables
Condiciones de pago:
T/T, L/C
Capacidad de la fuente:
50 juegos/mes
Descripción del producto
GRM1201 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas 1200 m3/h Bomba de vacío de alta velocidad libre de aceite para semiconductores PECVD MOCVD
GRM1201 Bomba de vacío seco de raíces de varias etapas Solución de alta velocidad de 1200 m3/h

La GRM1201 es una bomba de vacío seca de raíces de alta velocidad de múltiples etapas que ofrece una velocidad de bombeo de 1200 m3/h con una presión final de ≤0,15 Pa.Compartiendo la misma plataforma compacta que el GRM601 (865 * 344 * 751 mm), 260 kg) pero con entrada ISO160 para un mayor rendimiento, sobresale en PECVD, MOCVD y aplicaciones de procesos limpios y medianos de semiconductores exigentes.

Características clave
  • Raíces de alta velocidad de varias etapas:1200 m3/h con bajo consumo de energía
  • Eficiencia de doble motor:1Motor sincrónico con imán permanente de 9 + 1,9 kW
  • Presión máxima excelente:≤ 0,15 Pa satisface los requisitos exigentes del proceso
  • Ultra-silencioso:≤ 63 dB (A) nivel de ruido compatible con las salas limpias
  • Entrada ISO160 grande:Maneja un alto rendimiento de gas para aplicaciones a escala de producción
  • Vaso limpio sin aceite:No hay contaminación por aceite en procesos sensibles de semiconductores
  • Manejo superior del polvo:Diseño avanzado del rotor para entornos ricos en partículas
  • Plataforma compacta:La misma huella que el GRM601
  • Sistema de triple sellado:Sello labial + laberinto + purga de nitrógeno garantía de vacío libre de aceite
  • Conectividad inteligente:E/S y RS485 (Modbus) para la integración remota de la fábrica
Especificaciones técnicas
Modelo GRM1201
Velocidad de bombeo 1200 m3/h
Presión final (sin purga) ≤ 0,15 Pa
Potencia del motor 1.9 + 1,9 kW
Válvula de tensión Las partidas de los componentes de las máquinas de ensayo deberán estar equipadas con un dispositivo de ensayo.
Conexión de entrada Se trata de la norma ISO 160.
Conexión de salida KF25
Nivel de ruido Se aplican las siguientes medidas:
Peso 260 kg de peso
Dimensiones (L*W*H) 865 * 344 * 751 mm
Presión del agua de enfriamiento 0.1 ¥ 0,6 MPa
Flujo de agua de refrigeración ≥ 4 L/min
Presión de depuración de N2 0.2·0,6 MPa
Flujo de depuración de N2 12 ̊50 L/min
Temperatura de funcionamiento 5°C a 40°C; ≤ 90% de HRC
Aplicaciones
  • Se trata de una serie de componentes de la tecnología de la Unión Europea, incluidos los componentes de la tecnología de la Unión Europea (UE).
  • Fotovoltaico: líneas de fabricación de células solares de alto rendimiento
  • Batería de litio: secado de células a escala de producción y procesamiento de electrolitos
  • Display de panel plano: fabricación de OLED y LCD