La GRM1201 es una bomba de vacío seca de raíces de alta velocidad de múltiples etapas que ofrece una velocidad de bombeo de 1200 m3/h con una presión final de ≤0,15 Pa.Compartiendo la misma plataforma compacta que el GRM601 (865 * 344 * 751 mm), 260 kg) pero con entrada ISO160 para un mayor rendimiento, sobresale en PECVD, MOCVD y aplicaciones de procesos limpios y medianos de semiconductores exigentes.
| Modelo | GRM1201 |
| Velocidad de bombeo | 1200 m3/h |
| Presión final (sin purga) | ≤ 0,15 Pa |
| Potencia del motor | 1.9 + 1,9 kW |
| Válvula de tensión | Las partidas de los componentes de las máquinas de ensayo deberán estar equipadas con un dispositivo de ensayo. |
| Conexión de entrada | Se trata de la norma ISO 160. |
| Conexión de salida | KF25 |
| Nivel de ruido | Se aplican las siguientes medidas: |
| Peso | 260 kg de peso |
| Dimensiones (L*W*H) | 865 * 344 * 751 mm |
| Presión del agua de enfriamiento | 0.1 ¥ 0,6 MPa |
| Flujo de agua de refrigeración | ≥ 4 L/min |
| Presión de depuración de N2 | 0.2·0,6 MPa |
| Flujo de depuración de N2 | 12 ̊50 L/min |
| Temperatura de funcionamiento | 5°C a 40°C; ≤ 90% de HRC |